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柱状晶シリコン
半導体分野などを中心に使用されています。
デジタル電子機器の世界的な普及により、半導体製造装置用部材として使用される「柱状晶シリコン」
の需要は年々高まっております。
そのような市場のニーズ応え、先を見据えたシリコンパーツ製品の開発と長年蓄積した技術とを融合し、
厳しい品質管理のもとに生産をしています。 |
柱状晶シリコン |
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[製品概要]
柱状晶シリコンは、縦に一方向凝固した「柱状」の結晶構造を持つ多結晶シリコンです。長年航空宇宙材料分野で培った高度な精密合金鋳造技術を基盤に、独自開発・実用化しました。
[特 長]
●シリコン結晶としては世界最大の大型材料のご提供が可能です。（現状は角型：□1050、丸型：Φ1050）
●他のシリコン素材と比べ、機械的に高い強度があります。
●単結晶シリコンと同等の熱特性・加工性を有しています。
●半導体装置の仕様に耐えうる、不純物が少ない材料のご提供が可能です。
[主な用途]
・半導体製造装置用部材 ・ＣＶＤ装置用部材
・アニール炉，拡散炉用部材 ・液晶製造装置用部材
・スパッタリングターゲット材料 |
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製品カタログPDFダウンロード
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