柱状晶シリコン |
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[製品概要]
柱状晶シリコンは、縦に一方向凝固した「柱状」の結晶構造を持つ多結晶シリコンです。長年航空宇宙材料分野で培った高度な精密合金鋳造技術を基盤に、独自開発・実用化しました。
[特 長]
●シリコン結晶としては世界最大の大型材料のご提供が可能です。（現状は角型：□1050、丸型：Φ1050）
●他のシリコン素材と比べ、機械的に高い強度があります。
●単結晶シリコンと同等の熱特性・加工性を有しています。
●半導体装置の仕様に耐えうる、不純物が少ない材料のご提供が可能です。
[主な用途]
・半導体製造装置用部材 ・ＣＶＤ装置用部材
・アニール炉，拡散炉用部材 ・液晶製造装置用部材
・スパッタリングターゲット材料 |
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単結晶シリコン
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[製品概要]
各種単結晶シリコン製品を多品種取り揃え、短納期で
お客様のご要望にお応えしております。
[特 長]
標準仕様ウェーハの他、単結晶シリコンを各用途に応じて様々なサイズ、形状に加工または表面処理を施して、ご提供しております。
●サイズ、形状：2インチから12インチウェーハの他、 各種板材、円筒品や特殊形状品も承ります。
●表面処理：エッチング品、ミラー品並びに膜付け品 （酸化膜・窒化膜）等各種ご対応いたします。
[主な用途]
・センサー、MEMS用ウェーハ
・半導体製造装置用テストウェーハ
・スパッタリングターゲット材料、治具等 |
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