製品仕様
純度
| グレード | 規格値 ※1 |
| H | 6N以上7N未満 |
| A | 6N |
| B | 5N |
標準品では以下の各項目(純度、比抵抗、加工形状)の製品をご用意しております。表に無い仕様に付きましては別途お問い合わせください。
比抵抗
| グレード | 比抵抗(Ω・cm) ※2 | タイプ | ドープ剤 | DC | RF |
| 低抵抗品 | 0.001以上0.01以下 | P型 | Boron | 使用可 | 使用可 |
| 中抵抗品 | 1以上10以下 | P型 | Boron | 使用可 | 使用可 |
形状加工
| 項目 | 標準品サイズ | |
| 外径(mm) ※3 | 丸型 | Φ460、Φ480、Φ550、Φ680、Φ840、Φ890 |
| 角型 | □550、□680、□840、□890 | |
| 厚さ | 板材 | 最大205mmまで |
| インゴット | 最大300mmまで | |
| 面状態 ※4 | ご指定の面状態に仕上げ加工いたします | |
| 加工精度 ※5 | 約0.1mm | |
| 形状 ※6 | ご指定の形状に加工いたします | |
備考
※1・・・HおよびA純度の製品につきましては半導体グレードの原材料を使用し、製造いたします。
※2・・・標準品以外の抵抗値につきましては、別途ご相談ください。
※3・・・標準品以外のサイズにつきましては、ご指定の寸法に切削加工いたします。
※4・・・スライス、研削、ラッピング、ミラーポリッシュ、エッチング(酸またはアルカリ)等の仕上げ面をお選びください。
※5・・・複雑な形状の加工も可能です。別途お問い合わせください。
※6・・・最終的な精度は形状により異なります。別途お問い合わせください。

