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三菱マテリアル電子化成株式会社

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シリコンバーツ事業



柱状晶シリコン
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製品仕様
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柱状晶シリコン製品仕様


製品仕様


純度


グレード 規格値 ※1
H 6N以上7N未満
A 6N
B 5N

標準品では以下の各項目(純度、比抵抗、加工形状)の製品をご用意しております。表に無い仕様に付きましては別途お問い合わせください。

比抵抗

グレード 比抵抗(Ω・cm) ※2 タイプ ドープ剤 DC RF
低抵抗品 0.001以上0.01以下 P型 Boron 使用可 使用可
中抵抗品 1以上10以下 P型 Boron 使用可 使用可

形状加工

項目 標準品サイズ
外径(mm) ※3 丸型 Φ460、Φ480、Φ550、Φ680、Φ840、Φ890
角型 □550、□680、□840、□890
厚さ 板材 最大205mmまで
インゴット 最大300mmまで
面状態 ※4 ご指定の面状態に仕上げ加工いたします
加工精度 ※5 約0.1mm
形状 ※6 ご指定の形状に加工いたします

備考

※1・・・HおよびA純度の製品につきましては半導体グレードの原材料を使用し、製造いたします。
※2・・・標準品以外の抵抗値につきましては、別途ご相談ください。
※3・・・標準品以外のサイズにつきましては、ご指定の寸法に切削加工いたします。
※4・・・スライス、研削、ラッピング、ミラーポリッシュ、エッチング(酸またはアルカリ)等の仕上げ面をお選びください。
※5・・・複雑な形状の加工も可能です。別途お問い合わせください。
※6・・・最終的な精度は形状により異なります。別途お問い合わせください。






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