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半導体用塗布拡散剤

  • 半導体用塗布拡散剤(MCD)

    N型ドープ剤としてアンチモンを含有する塗布拡散剤です。 原料に塩素を含まないため、スピンコーター等の装置の腐食によるメンテナンスや、クリーンルームの環境への汚染の心配がありません。

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