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「シリコンパーツ製品」の研究開発 | 三菱マテリアル電子化成株式会社

RESEARCH AND DEVELOPMENT

「シリコンパーツ製品」の研究開発

市場のニーズに応えるべく、柱状晶シリコンの加工品の開発にも積極的に取り組んでいますので、是非お問い合わせ下さい。

柱状晶シリコン

柱状晶シリコンは、三菱マテリアル株式会社の開発した柱状晶結晶組織を有するシリコン素材で、同社の幅広い技術を結集して実用化した”シリコン一方向凝固法”により製造されます。当社では世界随一のシリコン鋳造炉を有し大口径インゴットの製造を可能としています。
柱状晶シリコンは単結晶並の加工特性及びエッチング特性を有しており半導体製造装置、液晶用製造装置等の部材として使用されています。