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三菱マテリアル電子化成株式会社

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分野別製品案内


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半導体プロセス分野

半導体材料


反射防止膜材料、酸発生剤、ポリカーボネートケーシング帯電防止剤、ポリカーボネートケーシング難燃剤、デバイス検査用不活性液体

この分野での使用が見込まれる製品   
半導体材料
フォトレジスト エフトップ
FBSA(EF-41)、KFBS(EF-42)
短鎖ペルフルオロアルキルスルホン酸誘導体
試験液体 イナートリキッド
シリコン材料 単結晶シリコン(テストウェーハ)
柱状晶シリコン(プラズマエッチャー)
拡散剤 MCD
PO
その他薬剤用 (     )
(     )
その他 柱状晶シリコン
中性フッ化アンモン
希フッ酸