研究・技術｜三菱マテリアル電子化成株式会社

柱状晶シリコン
柱状晶シリコンは、三菱マテリアル株式会社の開発した柱状晶結晶組織を有するシリコン素材で、同社の幅広い技術を結集して実用化した“シリコン一方向凝固法”により製造されます。当社では世界随一のシリコン鋳造炉を有し大口径インゴットの製造を可能としています。柱状晶シリコンは単結晶並の加工特性及びエッチング特性を有しており半導体製造装置、液晶用製造装置等の部材として使用されています。